2001年北京昌平，彼时刚刚成立的绿菱公司可能还想不到，历经22年风雨后，自己将在天津泰达这片沃土上发展成为中国特种气体行业的龙头巨擘，扛起了国产特气迈入国际市场的艰巨重任。
特种气体，这个名词对于大部分人来说有点陌生，但实际上以特气为原料的产品，在我们的生活中随处可见。像近两年大家在医院常见到检测幽门螺杆菌的13C呼气试验药盒，就是一个典型的代表。另外，特气还是芯片制造过程中关键的基础材料，特气的品质直接决定了芯片的性能，是名副其实的电子工业“血液”。
突破特气技术瓶颈 助力中国芯片稳定前行
走进位于南港工业区的天津绿菱气体有限公司，先进的生产设备、尖端的实验室在厂区林立，一瓶瓶经过特殊设备生产的气体在灌装车间走下生产线。这些即将送往各大企业的特种气体，就是芯片生产的“秘密武器”。
“从手机、电脑到智能汽车，电子产品中有各式各样的芯片。芯片在制造时首先就是沉积形成薄膜，然后对薄膜进行刻蚀，接着清洗芯片并进行封装。整个生产过程中，沉积、刻蚀、清洗和封装各环节需要使用不同的特种气体才能完成。绿菱目前的产品主要就是芯片刻蚀用的特气。”天津绿菱气体有限公司副总经理孟庆森介绍道。除了主营刻蚀类特气，绿菱还将目光投向目前国内半导体行业“卡脖子”更严重，技术要求更高的薄膜沉积特气。目前有几款产品如TSA、五氯化钨等已经突破技术瓶颈，开始生产和销售，更多的产品及技术还在自主开发和测试过程中，将陆续推向市场。
正是由于特种气体在电子工业生产中不可替代的作用，因此在芯片竞技这场没有硝烟的战争里，特气是兵家必争之地。“有一句话叫做巧妇难为无米之炊，特气是芯片生产中位列第二的原材料，即使你的芯片设计再优秀，工艺再先进，如果没有原材料的供应，生产芯片就无从说起。”孟庆森说道。特气的供应是否能够保持稳定，正是目前中国半导体行业面临的挑战之一。
国际上特气行业有四家巨头，这四大企业占据了国际70%以上的特气市场。而在国内，特气行业起步较晚，之前很多企业所需的特气都要通过进口获得。绿菱研发特气很重要的一个目标，就是让芯片企业能够用上中国制造的高质量特气。
实现特气的国产替代，不但将助力国内半导体行业实现自主可控，保证产业链安全，而且还将为众多半导体企业带来生产成本大幅降低的利好。“有一个很典型的例子，现在国产六氟化硫特气大概几十元一公斤，二十多年前依靠进口也是这个价格，听上去数字差不多，但这么多年物价已经今非昔比，当时的高价特气现在已成了白菜价。”孟庆森笑着说。
绿菱专注于国产特气的研发生产，为产业链下游企业带来了稳定的低成本、高品质原材料供应，这在一定程度上避免了众多下游企业自行研发特气带来的高昂试错成本，让下游企业能够将更多精力投入到新产品的研发之中，而新产品的不断涌现也进一步扩大了特气原材料的市场需求，为绿菱提供了更大的发展机会。如今，绿菱生产的特气，一半用于国内企业，还有一半远销海外，受到了越来越多国际客户的青睐。
立足南港互融互补 专注科研创新发展
看到了特气在中国不断增长的需求，2008年绿菱将工厂整体迁移至天津市武清区，走上高质量发展的快车道。2018年，根据国家、天津市有关政策和自身发展需要，绿菱在南港工业区选址建设研发生产基地，以此打造新的业务增长点。
南港工业区是天津经开区开发建设的专业化工园区，是天津市石化产业的主要承载地。绿菱南港基地的建设对于企业整体布局起到了关键的提升作用，这里已经成为绿菱公司的总部和研发生产中心。对于南港工业区来说，绿菱的落户，也有利于为京津地区的半导体企业提供更加便利的服务，同时绿菱还与渤化展开合作，进一步强化和补充了南港的产业链。
作为绿菱的研发中心，南港基地在人才梯队搭建上投入了大量的精力，不仅拥有众多博士、硕士引领的专业技术研发团队，还一直聘请国内外的专家做“外援”。南港团队拥有3位资深技术顾问，都是行业内耕耘20年以上的老专家，他们支撑起了绿菱技术开发的核心任务。“其中一位专家今年已经超过85岁高龄，他是中国第一代的专业技术人员，多次作为国家技术代表与国外进行对接和交流。他退休后仍然以技术顾问的形式，为绿菱气体技术的发展提供了诸多关键性的指导意见。”孟庆森自豪地说。
此外，绿菱还和国内多个高等院校开展技术合作，目前也拥有了自己的校-企联合技术开发平台，合作开发的技术及产品也为南港基地的运营和发展提供了强大支撑。
20多年来，绿菱人在科研创新上永无止境，走出一条“专精特新”的发展道路。在“专”方面，绿菱心无旁骛，专注于半导体行业电子特气的研发和生产，同时也为平板显示、光伏材料等行业提供特种气体一站式解决方案。在“精”方面，半导体行业对于电子特气的纯度要求非常高，绿菱从原材料入厂到成品出厂，对每一道工序进行严格精细的管理，已通过ISO9000等三体系认证。事实上，绿菱生产的特气纯度都远远高于国际标准。为了做好“特”和“新”，绿菱准确把握市场需求，在国内率先研发生产了一系列氟碳类电子特气产品，并保持了多种产品的市场领先地位。同时绿菱团队不断研发新技术，目前拥有多项发明专利，参与制定6项国家标准，先后承担3项省部级研发项目，两次获得“中国半导体创新产品和技术”奖项。
专精特新发展道路也给绿菱带来丰厚的回报。绿菱也因此成功“揭榜挂帅”天津市科技重大专项，先后获评专精特新中小企业、天津市制造业单项冠军企业、第五批国家级专精特新“小巨人”企业等荣誉称号。
开拓绿色发展道路 巩固安全生产基石
2001年绿菱开始做特气，当时中国特气还是新兴产业，一切都在摸索中前行。但20多年的发展成长让绿菱找到了特气绿色环保发展之路。绿菱在南港除了生产备受电子企业欢迎的拳头产品刻蚀特气，还侧重于对环境友好、行业关注度高、市场潜力大的特种气体合成及提纯。
宽泛来说，我们日常听到的氟利昂也是特种气体的一部分，而这些特种气体中的一些成分就会破坏臭氧，对环境造成影响。还有的特种气体渗漏出来也会对环境有所影响，所以绿菱一直在研发环保的特气来替代这类产品。现在绿菱有6款更加环保的特气实现了技术上的突破，正在办理审批手续，预计未来1-2年进行投产。
作为化工企业，安全生产更是绿菱发展的重要基石。“绿菱在安全应急方面的投入高达1200万元，”天津绿菱气体有限公司安全总监赵沙沙介绍道：“绿菱有多个大型专业危化气体储藏仓库，都安装了防爆门，并且实行双人双锁模式。同时南港基地成立了32人的应急队伍，24小时待岗。一旦发生事故，他们将迅速以专业手段处理紧急情况。另外公司还针对可能出现的各种突发危险情况，每年开展26项应急演练，以提高应急处置能力。”
企业发展如大浪行舟，不进则退，勇进者胜。在竞争激烈的特气行业，绿菱将立足南港，继续秉持专精特新的理念，持续走绿色环保道路，充分发挥天津市支持半导体产业链和石化产业高质量发展的政策优势，发挥京津冀协同效应，实现企业高质量发展，为中国特气书写下浓墨重彩的一笔。